Influence of the magnetic field on the discharge physics of a high power impulse magnetron sputtering discharge
نویسندگان
چکیده
Abstract The magnetic field is a key feature that distinguishes magnetron sputtering from simple diode sputtering. It effectively increases the residence time of electrons close to cathode surface and by energy efficiency discharge. This becomes apparent in high power impulse (HiPIMS) discharges, as small changes can result large variations discharge characteristics, notably peak current and/or voltage during pulse. Here, we analyze influence on electron density temperature, how split between sheath ionization region, heating mechanism HiPIMS We relate results discuss them terms probability target species ionization. related fraction pulse absorbed electrons. Ohmic region leads higher than energization sheath. find sputtered depend largely current. suggest ways adjust temperature using field, respectively, they probability.
منابع مشابه
High power impulse magnetron sputtering discharge
J. T. Gudmundsson, N. Brenning, Daniel Lundin and Ulf Helmersson, High power impulse magnetron sputtering discharge, 2012, Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films, (30), 030801. http://dx.doi.org/10.1116/1.3691832 Copyright: American Vacuum Society, This article may be downloaded for personal use only. Any other use requires prior permission of the author and the ...
متن کاملCross-field ion transport during high power impulse magnetron sputtering
In this study, the effect on thin film growth due to an anomalous electron transport, found in high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) has been investigated for the case of a planar circular magnetron. An important consequence of this type of transport is that it affects the way ions are being transported in the plasma. It was found that a significant fraction of ions are transported r...
متن کاملthe influence of the neo-platonic concept of poetic imagination on wordsworth’s poetry
بر اساس نظریه افلاطون در باره شعر خلاقیت هنری مورد انتقاد قرار گرفته است. نظریه کلی در مورد شعر این بود که شعر از ظواهرتقلید میکند و نه حقیقت. چون سایه ای از حقیقت است. اما با پیدایش فلسفه نو افلاطونی، انتقاتات قبلی در مورد شعر و شاعری اصلاح شد. فلوطین در کتاب انئید، اساس خلق هنری را بر محور مُثل افلاطونی قرار داد. وی باور داشت که هنر مندان در خلق آثار هنری، تحت تاثیر مُثل افلاطونی بوده و عوالمی ...
the effect of consciousness raising (c-r) on the reduction of translational errors: a case study
در دوره های آموزش ترجمه استادان بیشتر سعی دارند دانشجویان را با انواع متون آشنا سازند، درحالی که کمتر به خطاهای مکرر آنان در متن ترجمه شده می پردازند. اهمیت تحقیق حاضر مبنی بر ارتکاب مکرر خطاهای ترجمانی حتی بعد از گذراندن دوره های تخصصی ترجمه از سوی دانشجویان است. هدف از آن تاکید بر خطاهای رایج میان دانشجویان مترجمی و کاهش این خطاها با افزایش آگاهی و هوشیاری دانشجویان از بروز آنها است.از آنجا ک...
15 صفحه اولذخیره در منابع من
با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید
ژورنال
عنوان ژورنال: Journal of Physics D
سال: 2021
ISSN: ['1361-6463', '0022-3727']
DOI: https://doi.org/10.1088/1361-6463/ac2968